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净化工程施工需要注意的几点因素!

无尘车间的气流发展速度/换气次数,一直是洁净室环境设计中受到社会关注的问题,随着洁净室污染源的控制管理效果可以增加及末级过滤器使用效率的提高等,对有关法律规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守,已有研究不少学生讨论;FFU在应用中人们开始担心的噪音、损坏进行维修等问题分析已在教学实践中我们得到有效解决,随着FFU的不断完善改进,对是否需要采用FFU回风系统同时也是个热点:悬浮分子通过污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来,受到广泛关注。这些问题的情况分别归纳和分析如下。
无尘洁净室内进行一定洁净度下气流速度的确定,随洁净室用途等具体实际情况不同而异,它不仅受室内发尘量及过滤器工作效率还受到了其他社会因素分析影响,就工业洁净室而言,影响洁净度及选择通过气流发展速度的因素主要是:

(1)室内污染源: 建筑物组成、人员数量、操作活动、工艺设备、工艺材料和工艺本身都是粉尘释放源,根据具体情况变化很大;

(2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到传统工艺技术设备可以布置和位置信息变动及人员管理活动发展情况等的干扰学生形成一个局部涡流;而非单向流要求充混合,避免死角及温度分层;

(3)自清洗时间(恢复时间)的控制要求:在正常运行或人员、设备的移动过程中,由于意外或间歇性的对流或污染物的释放或带入洁净室的气流中断,都会造成洁净度的恶化,自清洁时间的控制要求取决于在此时间范围内(在洁净度恶化的情况下)能否承受对产品生产质量和成品率的影响;

(4)末级过滤器的效率:在一定的室内发尘量下,可采用具有较高工作效率的过滤器以降低气流发展速度;为节能应考虑企业采用成本较高管理效率的过滤器,并降低气流运动速度,或采用相对较低生产效率的过滤器并采用一个较高的气流传播速度,以求流量与阻力的乘积最小;

(5)经济考虑: 过大的风速会导致投资和运营成本的增加。适当的气流速度是上述因素的合理组合。过大的空气流速通常是不必要的,并且可能不是有效的;

(6)对洁净度管理要求低的洁净室,有时需要换气工作次数决定于一个室内排热的要求。

FFU系统的应用

在使用寿命和维护方面,ffu 已被证明是不用担心的。当前其改进主要是:

(1)采取均流及减少环境噪音的措施,噪音问题可在50db以内;

(2)电机采用DC/EC(电子整流电机),比原交流电机节省近50%,由于小风机采用小容量(功率< 1/2HP)交流电机,一般为容相或隐极型,其效率仅为40%左右,在速度控制上可以分别对各过滤器进行降压控制以节省能耗,但目前投资回收期仍较长且应用不广泛,一般采用群控或全群控。

(3)但FFU出口静压技术不能产生过大,一般可以采用中国出口风速成0.38m/s,此时其静压方式一般在250Pa以内。

Ffu 回风系统与其它方法相比的优点

优点:

(1)灵活性大,便于改造;

(2)占用建筑物空间较少;

(3)洁净利用室内环境空气进行压力影响大于回风静压室,排除静压室对洁净室污染的可能性。

缺点:

(1)回风通道(包括多孔地板、格栅和空气通道)的总阻力、干式表冷器的阻力和最终过滤器的阻力(初始阻力)应控制在165pa 左右,以满足运行过程中250pa 的最大阻力。因此干表冷器的传热计算面积要较大,回风道设计尺寸亦要进行较大,多孔材料地板及格栅等的阻力要小,一般通过作法是:控制干表冷器阻力在50Pa左右,回风道内部阻力在15Pa以内,否则我们就需要再增设一个加压以及风机工作系统,这就是降低了FFU系统的综合技术优点。

(2)采用直流/ EC电动机后,单位体积空气能耗可能会低于集中系统当前通用的大型离心风机,但现有的研究已经指出,回风系统的能源消耗仍高于提高大型轴流风机。因此我们需要注意大型轴流风机的效率可以提高企业及其管理系统的阻力降低的因素。

(3)在一般 ffu 系统中,由于单位风量能耗较大,洁净室的冷负荷相应增加。

具体情况下的评价

(1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时,其综合考虑经济性分析一般企业往往都是可取。

(2)在最终过滤器充填率为100% 的大型洁净室中使用 ffu 不经济,与小型系统进行比较有意义。

 

 

 

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